空氣壓縮的質量直接影響思瑞三坐標測量機的正常運行及使用壽命，不理想的是氣源中含有相當數量的雜質，主要分成三類，即水，油和塵；，其中大概80%在尺寸上小于2μm，空氣壓縮機吸氣過濾器無力消除。此外，空氣壓縮機系統內部也會持續產生磨屑、銹渣和油的滲碳體，它們將加速用氣機器設備的磨損，導致密封性失效或堵??；
水份
空氣中空氣濕度通常達到65%之上，經壓縮冷凝后，即變成濕飽和空氣，并帶入大量的液態水珠，它們是管路和氣動閥門、思瑞三坐標測量機等機器設備生銹的直接原因，冬季結冰還會阻塞氣動控制閥中的小孔通道。特別注意的是：即便是分離清潔的純飽和空氣，隨著溫度的減少，仍會出現冷凝水析出，大概每減少10℃，其飽和含水量將下降50%，即有一半的蒸汽轉化為液態水珠。
油份
制冷壓縮機類型分成活塞式，螺桿式；大部分空氣壓縮機是選用潤滑脂來潤滑和冷卻其運動構件（如螺桿、活塞等）的，但環境污染了空氣壓縮。在空氣壓縮機內潤滑脂與高溫的空氣壓縮直接接觸，空氣壓縮中的油漬以“油點”、“油霧（氣溶膠）”和“油蒸汽”三種形式出現。被從壓機內送到供氣系統中的油在一切狀況下都并沒有益處。
思瑞三坐標測量機基本原理：
三坐標測量機歸屬于精密檢測儀器，選用空氣軸承導向，完成導軌間無磨擦和磨損，可以保持長期的特性均勻性。髙壓氣體通過空氣軸承中細微的氣孔（如下圖紅圈位置）進入工作臺面與導軌面之間，產生均勻的氣隙，空氣軸承的正常運行磁密在3——10μm之間。因而在壓力正常的標準下，保證空氣壓縮的純凈度及導軌面的平面度是空氣軸承正常運行的關鍵。
思瑞三坐標測量機配備氣源處理組件，進行壓縮空氣的凈化，是十分重要的！
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